自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓偏振測(cè)厚儀 型號(hào)：TPY-2

TPY-2型自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，于不同用戶(hù)的需要。
規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：
測(cè)量范圍： 薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10
測(cè)量Z小示值： ≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盤(pán)刻度： 每格1度 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步進(jìn)角： 0.014°/步 偏振器方位角范圍：0°- 180°
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005
TPY-2型自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀儀器測(cè)量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）
光學(xué)中心高度：80mm
成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)）
主機(jī)重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm